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半導(dǎo)體工業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機(jī)化合物。在這個(gè)過程中，這些有機(jī)溶劑大部分揮發(fā)為廢氣，這類氣體的排放一般采用吸附法、焚燒法或兩者結(jié)合的方法。

行業(yè)特點(diǎn)

目前，這類氣體的排放一般采用吸附法、焚燒法或兩者結(jié)合的方法。吸附是利用多孔固體吸附劑對(duì)混合氣體進(jìn)行處理，使其中的一種或多種組分能夠吸附在固體表面，達(dá)到分離的目的。該吸附劑選擇性高，能分離其它工藝難以分離的混合物，能有效去除（或回收）低濃度有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

但固體吸附劑吸附容量小，需要大量吸附劑，設(shè)備龐大，吸附后需要再生處理，這是吸附處理的主要缺點(diǎn)。從半導(dǎo)體生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)揮發(fā)出的有機(jī)廢氣經(jīng)就地排氣罩收集后，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般用活性炭作吸附劑。由于活性炭是一種非極性吸附劑，其對(duì)廢氣中水汽的敏感性不高，價(jià)格低廉。焚燒法也廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的各種有機(jī)廢氣處理，有機(jī)物通過熱氧化轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水。同時(shí)，焚燒也是處理流量和濃度穩(wěn)定的廢氣的好方法。在熱氧化過程中，有機(jī)廢氣被加熱，氣相有機(jī)物被氧化。為了節(jié)省燃料，通常采用換熱器回收焚燒產(chǎn)生的熱量，對(duì)進(jìn)口燃?xì)膺M(jìn)行預(yù)熱。這種方法通常用于處理大流量、低濃度的氣體。由于半導(dǎo)體工業(yè)中的廢氣焚燒產(chǎn)生二氧化硅，二氧化硅鈍化催化劑，接觸氧化在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用較少。

一些半導(dǎo)體工廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)來收集有機(jī)廢氣，如沸石濃縮輪。由于半導(dǎo)體工藝中有機(jī)廢氣排放量大（通常大于11039m3h），濃度低（通常小于25ppmv），采用其它處理技術(shù)難以達(dá)到滿意的處理效果。沸石濃縮輪采用內(nèi)有吸附材料的旋轉(zhuǎn)輪，吸附材料部分暴露在廢氣流中。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物，并用蒸汽或熱將其解吸。解吸氣流中收集了高濃度的揮發(fā)物，低濃度和高濃度的氣流可以很好地氧化。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)在半導(dǎo)體工業(yè)中的一個(gè)缺點(diǎn)是對(duì)甲醇的親和性差，去除率只有40-60%。

總之，在廢氣處理方面，半導(dǎo)體行業(yè)的酸堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿吸收和酸吸收處理。工藝方法非常成熟。只要對(duì)相關(guān)工藝參數(shù)進(jìn)行適當(dāng)優(yōu)化，就能滿足本標(biāo)準(zhǔn)的要求，對(duì)有機(jī)廢氣的處理也需要引起重視。目前，有機(jī)廢氣的處理工藝有吸附、吸附、直接燃燒、催化燃燒、冷凝等，吸附法采用活性炭直接吸附，凈化效果好，但操作成本高；吸附法適用于低溫，中高濃度廢氣；直接燃燒法適用于高濃度、小風(fēng)量廢氣處理；冷凝法適用于組分相單一、高濃度，對(duì)有機(jī)廢氣有一定回收價(jià)值。對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)中濃度低、風(fēng)量大、成分復(fù)雜的有機(jī)廢氣，吸附法、吸附法、燃燒法和冷凝法不適用，吸附催化燃燒法更適用。目前，省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪進(jìn)行濃縮燃燒。該方法適用于大風(fēng)量、低濃度、常溫的有機(jī)廢氣處理。凈化效率達(dá)90%以上，濃縮比為20:1。運(yùn)行成本低，設(shè)備處理風(fēng)量大，占地面積小，不產(chǎn)生二次污染，污染物可連續(xù)脫附處理。根據(jù)企業(yè)實(shí)際運(yùn)行情況，有機(jī)廢氣進(jìn)氣濃度大于200mgm3時(shí)，處理效率達(dá)到95%，小于200mgm3時(shí)，處理后濃度控制在20mgm3，可確保廢氣達(dá)標(biāo)排放。